您的位置: 标准下载 » 国内标准 » GB 国标 »

GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

作者:标准资料网 时间:2024-05-21 16:57:09  浏览:9413   来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
基本信息
标准名称:硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
英文名称:Test method for sheet resistance of silicon epitaxial,diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
中标分类: 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类: 电气工程 >> 半导体材料
替代情况:替代GB/T 14141-1993
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
首发日期:1993-02-06
作废日期:
主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位:宁波立立电子股份有限公司、南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心
起草人:李慎重、许峰、刘培东、谌攀、马林宝、何秀坤
出版社:中国标准出版社
出版日期:2010-06-01
页数:12页
计划单号:20065624-T-469
适用范围

本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。
本标准适用于测量直径大于15.9mm 的由外延、扩散、离子注入到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2μm 的薄层,方块电阻的测量范围为10Ω~5000Ω。该方法也可适用于更高或更低阻值方块电阻的测量,但其测量精确度尚未评估。

前言

没有内容

目录

没有内容

引用标准

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T1552 硅、锗单晶电阻率测定 直排四探针法
GB/T11073 硅片径向电阻率变化的测量方法

所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
下载地址: 点击此处下载
基本信息
标准名称:压力容器 第2部分:材料
英文名称:Pressure vessels—Part 2:Materials
中标分类: 机械 >> 通用机械与设备 >> 压力容器
ICS分类: 流体系统和通用件 >> 流体存储装置 >> 压力容器、气瓶
替代情况:部分代替:GB 150-1998
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2011-11-21
实施日期:2012-03-01
首发日期:1989-02-22
作废日期:
主管部门:全国锅炉压力容器标准化技术委员会(SAC/TC 262)
提出单位:全国锅炉压力容器标准化技术委员会(SAC/TC262)
归口单位:全国锅炉压力容器标准化技术委员会(SAC/TC 262)
起草单位:合肥通用机械研究院、中国通用机械工程总公司、中国特种设备检测研究院、合肥市质量技术监督局、中国石化工程建设公司、国家质检总局特种设备安全监察局、江苏省特种设备安全监督检验研究院
起草人:秦晓钟、章小浒、张勇、杨国义、顾先山、段瑞、常彦衍、缪春生、尹立军
出版社:中国标准出版社
出版日期:2012-03-01
页数:56页
适用范围

GB150的本部分规定了压力容器受压元件用钢材允许使用的钢号及其标准,钢材的附加技术要求,钢材的使用范围(温度和压力)和许用应力。
本部分适用于设计温度-253℃~800℃、设计压力不大于35MPa的压力容器。
本部分不适用的范围为:GB150.1规定的不适用范围;制冷、造纸行业的容器,搪玻璃容器和简单压力容器;TSGR0004中1.4条所规定的范围。

前言

没有内容

目录

前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 总则 2 4 钢板 4 5 钢管 13 6 钢锻件 20 7 螺柱(含螺栓)和螺母用钢棒 25 附录A (规范性附录) 材料的补充规定 32 附录B(资料性附录) 钢材高温性能参考值 38 附录C (资料性附录) 高合金钢钢号近似对照 47 附录D (规范性附录) Q235系列钢板的使用规定 49

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB150.1—2011 压力容器 第1部分:通用要求
GB150.3—2011 压力容器 第3部分:设计
GB/T228 金属材料 室温拉伸试验方法
GB/T229 金属材料 夏比摆锤冲击试验方法
GB/T699 优质碳素结构钢
GB713 锅炉和压力容器用钢板
GB/T1220 不锈钢棒
GB/T1221 耐热钢棒
GB/T3077 合金结构钢
GB3531 低温压力容器用低合金钢钢板
GB/T4226 不锈钢冷加工钢棒
GB/T4334 金属和合金的腐蚀 不锈钢晶间腐蚀试验方法
GB5310 高压锅炉用无缝钢管
GB6479—2000 高压化肥设备用无缝钢管
GB/T6803 铁素体钢的无塑性转变温度落锤试验方法
GB/T7735 钢管涡流探伤检验方法
GB/T8163 输送流体用无缝钢管
GB9948 石油裂化用无缝钢管
GB/T12771 流体输送用不锈钢焊接钢管
GB13296 锅炉、热交换器用不锈钢无缝钢管
GB/T14976 流体输送用不锈钢无缝钢管
GB19189 压力容器用调质高强度钢板
GB/T20878 不锈钢和耐热钢 牌号及化学成分
GB/T21832 奥氏体-铁素体型双相不锈钢焊接钢管
GB/T21833 奥氏体-铁素体型双相不锈钢无缝钢管

所属分类: 机械 通用机械与设备 压力容器 流体系统和通用件 流体存储装置 压力容器 气瓶
【英文标准名称】:Aerospaceseries-Bolts,normalhexagonalhead,relievedshank,longthread,inheatresistingnickelbasealloyNI-PH2601(Inconel718),silverplated-Classification:1275MPa/650°C;GermanandEnglishversionEN3613:2009
【原文标准名称】:航空航天系列.镀银NI-PH2601镍基合金(铬镍铁合金718)耐高温长螺纹减荷螺杆标准六角头螺栓.等级:1275MPa/650℃.德文和英文版本EN3613-2009
【标准号】:DINEN3613-2009
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2009-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:航空航天运输;航空运输;交货条件;名称与符号;尺寸规格;六角(边)形;六角头螺钉;高温;铬镍铁合金;锁定装置及定位装置;机械性能;多语种的;镍基合金;特性;减荷螺杆;螺钉(螺栓);镀银;航天运输;规范(验收);公差(测量);重量
【英文主题词】:Aerospacetransport;Airtransport;Deliveryconditions;Designations;Dimensions;Hexagon;Hexagonheadscrews;Hightemperature;Inconel;Lockingandlocatingdevices;Mechanicalproperties;Multilingual;Nickelbasealloys;Properties;Relievedshanks;Screws(bolts);Silver-coated;Spacetransport;Specification(approval);Tolerances(measurement);Weights
【摘要】:ThisstandardspecifiesthecharacteristicsofboltsnormalhexagonalheadwithrelievedshankandlongthreadinheatresistingnickelbasealloyNI-PH2601(Inconel718),foraerospaceapplications.Classification:1275MPa/650℃.
【中国标准分类号】:V20
【国际标准分类号】:49_030_20
【页数】:18P.;A4
【正文语种】: